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雅科貝思廠家代理

AFXS直線電機平臺

直線電機平臺用于晶圓、藍寶石等檢測,由Akribis高性能無鐵芯直線電機驅動;XY軸采用交叉滾柱導軌,中空結構,內置光柵系統。分辨率50nm,重復定位精度可達士0.75um,絕對定位精度2um;有效行程70*70mm,最大速度200mm/s;可定制。

產品詳情

Akribis雅科貝思直線電機平臺


AFXS直線電機平臺:參數



X軸
Y軸

行程


70mm70mm
分辨率50nm50nm
定位精度±2μm  ±2μm
重復度±0.75 μm±0.75 μm
平面度±3.5 μm
直線度±3.5 μm
最大速度200 mm/s
建議負載重量< 1 Kg
中空尺寸90 * 110 mm

XY軸正交度

10 arc sec


AFXS直線電機平臺


AFXS直線電機平臺.

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